今年7月底，安徽安芯電子科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“安芯電子”）潔凈車間內(nèi)，一片厚度僅0.3毫米的6英寸晶圓在自動(dòng)化生產(chǎn)線上完成最后一道工序。經(jīng)測(cè)試，這批晶圓的產(chǎn)品性能和良品率均達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)首條采用LDW先進(jìn)工藝技術(shù)的6英寸車規(guī)級(jí)芯片及封裝生產(chǎn)線投產(chǎn)成功。由該生產(chǎn)線生產(chǎn)的產(chǎn)品可達(dá)到185℃結(jié)溫的高可靠性能，不僅可以滿足車規(guī)級(jí)應(yīng)用需求，還推動(dòng)國(guó)產(chǎn)車規(guī)級(jí)芯片邁入無(wú)鉛高可靠時(shí)代。

　　談起建設(shè)這條產(chǎn)線的初衷，安芯電子董事長(zhǎng)汪良恩坦言：“中國(guó)新能源汽車產(chǎn)業(yè)正高速發(fā)展，但車規(guī)級(jí)功率芯片卻長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，尤其是具有高拋負(fù)載能力的TVS芯片和軟恢復(fù)特性的FRED芯片，核心技術(shù)和產(chǎn)能幾乎被海外企業(yè)壟斷。一旦海外斷供，國(guó)內(nèi)車企生產(chǎn)線就得停擺?！闭强吹竭@樣的行業(yè)痛點(diǎn)，安芯電子果斷決定啟動(dòng)車規(guī)級(jí)6英寸晶圓設(shè)計(jì)制造項(xiàng)目，“我們的目標(biāo)很明確：不僅要做出‘中國(guó)造’的車規(guī)級(jí)芯片，還要比進(jìn)口產(chǎn)品更可靠、更環(huán)保?！睘榇?，安芯電子專門從國(guó)際一流公司引進(jìn)專業(yè)人才技術(shù)團(tuán)隊(duì)研發(fā)行業(yè)最先進(jìn)的汽車芯片設(shè)計(jì)制造技術(shù)，為全面實(shí)現(xiàn)新能源汽車專用芯片國(guó)產(chǎn)化助力。

　　從去年7月13日項(xiàng)目啟動(dòng)建設(shè)到今年7月底第一批晶圓成功下線，安芯電子僅用了一年多的時(shí)間就走完了海外企業(yè)需要3～5年的技術(shù)攻關(guān)之路。

　　生產(chǎn)車間內(nèi)，安芯電子副總經(jīng)理李建利指著生產(chǎn)線上的LDW工藝模塊自豪地說(shuō)：“這就是國(guó)際最先進(jìn)的LDW先進(jìn)工藝技術(shù)，目前國(guó)內(nèi)只有我們能把它用在車規(guī)級(jí)TVS芯片生產(chǎn)上?！?/p>

　　LDW先進(jìn)工藝技術(shù)究竟有何過(guò)人之處？安芯電子6英寸車規(guī)級(jí)芯片及封裝生產(chǎn)線研發(fā)部經(jīng)理方亮解釋說(shuō)，這項(xiàng)技術(shù)采用最先進(jìn)的芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)，具備精準(zhǔn)的橫向擴(kuò)散控制能力，使芯片能夠在更高溫度下穩(wěn)定工作。“車規(guī)級(jí)芯片的標(biāo)準(zhǔn)要求達(dá)到175℃結(jié)溫，我們生產(chǎn)的芯片超標(biāo)準(zhǔn)，達(dá)到185℃結(jié)溫，這樣芯片在極端環(huán)境下仍能保持性能穩(wěn)定，這對(duì)新能源汽車尤為重要。不僅如此，安芯電子的車規(guī)級(jí)芯片還具有低失效率和高拋負(fù)載通流能力等優(yōu)勢(shì)?！?/p>

　　值得一提的是，該工藝還解決了芯片含鉛不環(huán)保的行業(yè)難題?！拔覐氖掳雽?dǎo)體行業(yè)十多年，一直希望能夠?qū)崿F(xiàn)無(wú)鉛化芯片生產(chǎn)?！狈搅粮锌溃癓DW先進(jìn)工藝技術(shù)使我們終于擺脫了對(duì)鉛的依賴，產(chǎn)品完全符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，這是技術(shù)上的重大突破，同時(shí)也意味著它不僅能滿足國(guó)內(nèi)車企需求，還能出口到海外市場(chǎng)?！?/p>

　　除了工藝突破，產(chǎn)線建設(shè)也充滿挑戰(zhàn)。為了滿足車規(guī)級(jí)芯片對(duì)潔凈度的嚴(yán)苛要求，整個(gè)生產(chǎn)車間按照百級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)打造?！澳悻F(xiàn)在看到的這條生產(chǎn)線，包含了精準(zhǔn)擴(kuò)散摻雜、高精度光刻、等離子蝕刻等30多道先進(jìn)工藝，光是高潔凈度清洗環(huán)節(jié)就分了六步，每一步都要使用超純水和專用清洗劑，確保晶圓表面沒(méi)有任何雜質(zhì)?！狈搅粮嬖V記者，尤其是LPCVD模塊中的Nitride沉積工藝，能在晶圓表面形成一層均勻的絕緣膜，這層膜的厚度直接影響芯片的抗干擾能力，“我們的沉積厚度控制在100—200納米之間，誤差不超過(guò)5納米，這在行業(yè)內(nèi)屬于頂尖水平。”

　　“目前生產(chǎn)線處于小批量生產(chǎn)階段，國(guó)內(nèi)已經(jīng)有多家新能源汽車廠商前來(lái)洽談合作?！崩罱ɡ嘎叮皾M負(fù)荷生產(chǎn)后，將實(shí)現(xiàn)每年36萬(wàn)片芯片的產(chǎn)能，可制成10億只電子元器件，滿足近200萬(wàn)輛新能源汽車的需求?！?/p>

　　這條國(guó)內(nèi)首條采用LDW先進(jìn)工藝技術(shù)的6英寸車規(guī)級(jí)芯片及封裝生產(chǎn)線，不僅填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)技術(shù)空白，更有助于打破海外企業(yè)的壟斷，為新能源汽車產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入“芯”動(dòng)力?！爸袊?guó)汽車要駛向全球，必須裝上‘中國(guó)芯’，這是我們安芯人的使命，更是中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)的責(zé)任?！蓖袅级髡f(shuō)。

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